[SFEP] (202108)_반도체 세정장비의 Fault Detection 처리를 위한 Data Logging 및 Analysis 방법 연구
- 스마트팩토리융합학과
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- 2021-08-31
1. 프로젝트 주제: 반도체 세정장비의 Fault Detection 처리를 위한 Data Logging 및 Analysis 방법 연구
2. 참여기업: (주)제우스
3. 참여연구원 현황:
이름 | 학과 | 학번 | 학위과정 |
김남진 | 스마트팩토리융합학과 | 2020202020 | 박사 |
조윤형 | 전자전기공학부 | 2016313684 | 학부 |
정영찬 | 기계공학부 | 2016312854 | 학부 |