[학위논문] 반도체 웨이퍼의 혼합 결함 감지를 위한 Residual Attention Block과 U-Net을 결합한 분할 모델에 관한 연구
- 스마트팩토리융합학과
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- 2022-08-25
반도체 웨이퍼의 혼합 결함 감지를 위한 Residual Attention Block과 U-Net을 결합한 분할 모델에 관한 연구
(Research on Segmentation Model Combining Residual Attention Block and U-Net for Detecting Mixed Defects in Semiconductor Wafers)
2022년 8월
차재경
URL: https://dcollection.skku.edu/common/orgView/000000170801