[학위논문] 반도체 광학장비에서 Alignment Mark 감지를 위한 초해상도 기반의 Attention Mechanism을 결합한 모델에 관한 연구
- 스마트팩토리융합학과
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- 2022-08-25
반도체 광학장비에서 Alignment Mark 감지를 위한 초해상도 기반의 Attention Mechanism을 결합한 모델에 관한 연구
(Research on Model of Super Resolution Based Attention Mechanism for Mask Alignment Mark Detection in Semiconductor Exposure Machine)
2022년 8월
박주용
URL: https://dcollection.skku.edu/common/orgView/000000170584